精密光學反光鏡
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紫外曝光、光刻
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產品編號
所屬分類
紫外光刻、曝光、固化
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產品描述
技術參數
應用領域
匯博光學提供IC半導體光刻機、FPD液晶面板曝光設備、PCB線路板曝光機系統使用的精密光學薄膜產品。包括各種大功率深橢球分光鏡、45°平面反射鏡、介質膜反射鏡、鋁增強型反射鏡、復眼透鏡、365nm帶通濾光片、光配向反射鏡、異形反射鏡等。精密光學薄膜器件采用精密模壓及數控加工，鍍制多層硬質氧化物薄膜，具有光斑均勻性好、反射效率高、壽命長等特點。主要應用包括IC半導體、PCB、LED、MEMS、TFT、LCD、紫外固化、紫外點光源等產業方向。
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